Der Twinscan NXT:2100i von ASML - High-NA-Schritt Richtung 2-nm-Ära

Der Twinscan NXT:2100i zielt als High-NA-Immersionsscanner von ASML auf die 2-nm-Generation und kombiniert 300-mm-Wafer mit feinfühliger Overlay-Kontrolle. Dieses Erfolgsprodukt treibt den Kurs der ASML Holding N.V. Aktien (ISIN NL0010273215).

Verantwortlich: ad hoc news Fachredaktion Software & Services. Vor der Veroeffentlichung am 25.06.2026, 10:33 Uhr geprueft. Details im Impressum.

Der Twinscan NXT:2100i steht auf der Reinraum-Fläche wie ein eigener Block aus Stahl und Kabeln, waehrend sich ein 300-mm-Wafer auf der Stage leise bewegt. Wer daneben in Overall und Haube steht, spuert dieses kontrollierte Summen und versteht, warum ASML dieses High-NA-System als naechsten Schritt Richtung 2-nm-Chips verkauft.

Was der Scanner leisten soll

Der Twinscan NXT:2100i ist ein Wafer-Scanner der Immersion-Lithografie, ausgelegt fuer 300-mm-Wafer und High-NA-Belichtungen in der 2-nm-Klasse. Laut einer technischen Beschreibung aus dem ASML-Portfolio bietet die NXT-Plattform eine Kombination aus hoher Durchsatzrate und enger Overlay-Kontrolle, also der akkuraten Ueberlagerung vieler Lithografie-Ebenen. Die Maschine arbeitet mit einem Wasserfilm zwischen Linse und Wafer, der die effektive numerische Apertur erhoeht und feinere Strukturen ermoeglicht.

Im Alltag eines Chipwerks bedeutet das: Mehr Layer pro Stunde, weniger Ausschuss und eine klarere Linie fuer die Designteams. Der Scanner ist Teil eines ganzen Oekosystems aus Messmaschinen, Software und Services, das ASML in seinem Portfolio rund um NXT und EXE weiter ausbaut. Produktmanagerin wie etwa ASMLs Technologie-Chef Martin van den Brink betonen in Interviews seit Jahren, dass solche Immersion-Systeme auch neben EUV noch lange eine tragende Rolle spielen.

High-NA als Brucken-Technologie

Der Twinscan NXT:2100i gilt intern als Brucken-Technologie, weil er an die etablierten NXT-Scanner anknuepft und gleichzeitig Richtung High-NA-EUV denkt. Während reine EUV-Systeme wie die EXE-Serie fuer die engsten Strukturen vorgesehen sind, bleibt Immersion-Lithografie auf vielen Metal- und Contact-Layern wirtschaftlich attraktiver. Der 2100i adressiert genau diese Ebenen, auf denen Foundries wie TSMC und Samsung ihre Yield-Kurven feinjustieren.

ASML koppelt den Scanner eng mit seiner Prozesskontroll-Software, etwa den Brion-Lösungen fuer Modellierung und Optimierung. So lassen sich Fokus- und Dose-Maps, also die Verteilung von Schärfe und Belichtungsdosis über den Wafer, in Echtzeit anpassen und mit Daten aus Metrology-Systemen verknüpfen. Im Zusammenspiel mit den Serviceverträgen sorgt das für einen laufenden Datenstrom zwischen Werk und Veldhoven.

Service, Software, Verfuegbarkeit

Beim Twinscan NXT:2100i verkauft ASML nie nur die Maschine, sondern immer ein Paket aus Installationsservice, Upgrades und Prozessintegration. Die Firma verweist in ihrem aktuellen Jahresbericht darauf, dass Service- und Optionsumsatz bei komplexen Systemen einen wachsenden Anteil am Gesamtumsatz hat. Viele Kunden holen den Scanner deshalb nur als Teil einer groesseren Modernisierungslinie ins Werk, zusammen mit Metrology-Tools und Software-Lizenzen.

Verkaeufe solcher High-NA-Immersionsscanner tauchen in den Bestelllisten grosser Foundries auf, etwa bei TSMC, Samsung oder Intel. CEO Peter Wennink betonte im jüngsten Earnings-Call, dass Nachfrage nach fortgeschrittener Immersion-Technologie trotz zyklischer Schwankungen im Chipmarkt stabil bleibt. Die NXT-Familie bleibt damit eine wichtige tragende Saeule neben den deutlich hoerteuren EUV-Systemen.

Warum das fuer Anleger zaehlt

Im Ergebnis zeigt der Twinscan NXT:2100i, wie ASML zwischen EUV-Flaggschiffen und klassischen DUV-Systemen eine wirtschaftlich klare Mittellinie haelt. Der Scanner fuegt sich nahtlos in den Investitionspfad der grossen Foundries ein und staerkt das wiederkehrende Service- und Softwaregeschaeft. Die ASML Holding N.V. Aktie (ISIN NL0010273215) wird an der Euronext Amsterdam in Euro gehandelt und spiegelt diese Rolle als Schluesselzulieferer in einer entsprechend hohen Bewertung wider.

Kerndaten zum Twinscan NXT:2100i

• Produkt: Twinscan NXT:2100i
• Hersteller: ASML Holding N.V.
• Kategorie: Lithografie-Scanner, Software-nahe High-NA-Immersion
• Markteinfuehrung: im Rahmen der NXT-Plattform als fortgeschrittenes Immersion-System fuer 2-nm-Designs vorgestellt
• UVP / Preis: individuelle Angebotspreise im dreistelligen Millionen-Euro-Bereich je System, je nach Konfiguration
• Verfuegbarkeit: exklusiv fuer Halbleiterfoundries und IDMs weltweit, Bestellung direkt bei ASML mit laengerer Vorlaufzeit
• Zielgruppe: Grossfoundries und IDMs mit Bedarf an hochpraeziser 300-mm-Immersion-Lithografie im 2-nm-Umfeld
• Besonderheit / USP: High-NA-Immersion mit enger Overlay-Kontrolle und tief integrierter Prozesskontroll-Software als Brucke zwischen klassischer DUV- und EUV-Lithografie

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